技術(shù)參數
貨號 |
平均粒徑(nm) |
純度(%) |
比表面積(m2/g) |
體積密度(g/cm3) |
密度(g/cm3) |
晶型 |
顏色 |
ST-TM-001 |
800 |
>99.99 |
8 |
1.3 |
2.9 |
α相 |
灰白色 |
備注:根據用戶(hù)要求可提供不同粒度的產(chǎn)品。
應用方向
主要應用于多晶硅和單晶熔煉過(guò)程中,石英坩堝脫模用。多晶硅和單晶硅生產(chǎn)時(shí),在原料熔化、晶體生長(cháng)過(guò)程中,硅熔體和坩堝長(cháng)時(shí)間接觸會(huì )產(chǎn)生黏滯性。由于兩種材料的熱膨脹系數不同,如果硅材料和坩堝壁結合緊密,在晶體冷卻時(shí)很可能造成晶體硅或坩堝破裂。而硅熔體和坩堝的長(cháng)時(shí)間接觸還會(huì )造成陶瓷坩堝的腐蝕,使多晶硅中的氧濃度升高。為了解決這些問(wèn)題,國外工藝上一般采用高純氮化硅材料作為涂層附在坩堝的內壁,隔離硅熔體和坩堝的直接接觸,不僅解決了黏滯問(wèn)題,而且可以降低多晶硅中的氧、炭等雜質(zhì)濃度。利用定向凝固技術(shù)生長(cháng)的鑄造多晶硅,多數情況下坩堝是消耗品,不能重復循環(huán)使用,即每爐多晶硅都需要消耗一只陶瓷坩堝。采用氮化硅涂層后可使石英陶瓷坩堝得到重復使用,大幅度降低生產(chǎn)成本我公司根據多晶硅和單晶硅生產(chǎn)工藝特點(diǎn),開(kāi)發(fā)銷(xiāo)售了石英坩堝專(zhuān)用脫膜劑及相關(guān)噴涂工藝。高純氮化硅脫模劑粒度在0.5-1.2微米之間,可以有效地解決在涂層高溫固化過(guò)程中的氧化問(wèn)題,使多晶硅和單晶硅的純度獲得大幅度提高,其粉末的純度可達99.99%以上,可用作光伏工業(yè)中熔煉多晶硅鑄錠的石英坩堝涂層材料??捎行Х乐观釄鍍缺谂c熔融硅料粘接,方便脫模,同時(shí)起到阻隔層作用,保證硅錠純度。與納米氮化硅或其他類(lèi)型脫模劑相比,具有優(yōu)異的抗氧化性能,確保生產(chǎn)過(guò)程中碳、氧等雜質(zhì)濃度獲得有效控制。產(chǎn)品純度高,粒度均勻,性能上完全可與國外同類(lèi)產(chǎn)品相比較,目前已實(shí)現批量化生產(chǎn)。因此可以解決目前國內的石英坩堝涂層粉完全依賴(lài)日本UBE、德國Starck等進(jìn)口,且有較大成本優(yōu)勢。
貯存條件
本品應密封保存于干燥、陰涼的環(huán)境中,不宜長(cháng)久暴露于空氣中,防受潮發(fā)生團聚,影響分散性能和使用效果,另應避免重壓,勿與氧化劑接觸,按照普通貨物運輸。